Петров Вячеслав Васильович (UA)
Бріцький Олександр Ігоревич (UA)
Беляк Євген В'ячеславович (UA)
ІНСТИТУТ ПРОБЛЕМ РЕЄСТРАЦІЇ ІНФОРМАЦІЇ НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ (UA)
INSTITUTE FOR INFORMATION RECORDING OF THE NATIONAL ACADEMY OF SCIENCES OF UKRAINE (UA)
Пристрій прямого лазерного запису дифракційних оптичних елементів складається з лазера запису, шпинделя з двигуном, розміщеного на шпинделі оптичного диска з шаром фоторезисту, об'єктива з приводом фокусування лазерного випромінювання, лазера системи автофокусування та лінійного приводу - позиціонера, керуючого комп'ютера. Додатково до його складу включено кутовий референтний енкодер формування секторних міток та лазерний цифровий інтерференційний далекомір з абсолютним відліком координати, який зв'язаний з позиціонером.
Device for direct laser recording of diffractive optical elements consists of a recording laser, a spindle with a motor, an optical disk with a photoresist layer placed on the spindle, an objective lens with a laser focusing drive, a laser of the autofocus system, and a linear drive - positioner, control computer. Additionally, it includes an angular reference encoder for forming sector marks and a laser digital interference rangefinder with absolute coordinate readout, which is connected to the positioner.